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ULSI硅襯底化學機械研磨技術研究StudyofCMPLappingTechnique
硅錳(meng)冶煉(lian)(lian)渣(zha)簡稱(cheng)硅錳(meng)渣(zha),是冶煉(lian)(lian)硅錳(meng)合(he)金的(de)過(guo)程中(zhong)產生的(de)固體廢渣(zha),由于冶煉(lian)(lian)工(gong)藝的(de)限制(zhi),硅錳(meng)冶煉(lian)(lian)渣(zha)中(zhong)含有一定量(liang)的(de)硅錳(meng)合(he)金,尤其(qi)(qi)是硅錳(meng)干渣(zha),其(qi)(qi)中(zhong)的(de)硅錳(meng)合(he)金含量(liang)較高(gao),。
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論文天下提供的(de)<八英寸銅化學機械研磨(mo)工藝對硅片(pian)腐(fu)蝕的(de)改善;論文包括Cu-CMP腐(fu)蝕缺陷研磨(mo)頭(tou)研磨(mo)盤(pan)等其他(ta)相關(guan)內容論文。
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在對單晶(jing)硅片進行化(hua)學(xue)機(ji)械(xie)研磨(mo)的過(guo)程中,通過(guo)改(gai)變化(hua)學(xue)機(ji)械(xie)研磨(mo)的一些重要工藝參數(用于超(chao)精密(mi)硅晶(jing)片表面的化(hua)學(xue)機(ji)械(xie)拋光(CMP)技(ji)術研究[J].潤(run)滑與密(mi)封,2006,31。
渣處理方法,選硅錳渣工藝流程圖-鞏義佛瑞機械廠-中國研磨網
中國研(yan)磨研(yan)磨商(shang)城用戶名:密碼(ma):驗(yan)證碼(ma):個人企業設(she)為首頁收藏本站(zhan)D3遼寧康(kang)百萬粉煤(mei)灰加氣混凝(ning)土砌塊(kuai)設(she)備加氣混凝(ning)土設(she)備工藝流程會(hui)員類別:普(pu)通(tong)會(hui)員。
八英寸銅化學機械研磨工藝對硅片腐蝕的改善-收費碩士博士論文-
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機械密封修復中的研磨工藝-機械機電-道客巴巴
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礦山(shan)機械;其他礦山(shan)機械;硅錳(meng)渣處(chu)(chu)理(li)工藝(yi)&磁選機分選硅錳(meng)合金渣&球磨機研磨這里公開一種新型的硅錳(meng)合金冶煉渣處(chu)(chu)理(li)工藝(yi)流(liu)程及設備配(pei)置,不(bu)僅有效解決(jue)了硅錳(meng)合金。
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本技(ji)術揭示的在(zai)化學機械拋光工藝(yi)中確定研(yan)磨時間的方法093半導(dao)體(ti)硅(gui)晶片水基研(yan)磨液(ye)053安全閥門研(yan)磨機044031氣(qi)力(li)分(fen)級(ji)分(fen)離的粉碎(sui)或研(yan)磨工藝(yi)流程(cheng)039一種高(gao)。
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《機械(xie)工(gong)(gong)藝師》1995年08期(qi)加入(ru)收藏獲取高精度氣壓(ya)燒結(jie)氮化硅陶瓷球(qiu)的4秦展田;陶瓷球(qiu)研磨加工(gong)(gong)過程的狀態監測(ce)[D];天津大學;2007年5許秦;硬質。
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2013年3月22日-化學機械拋(pao)光(guang)(guang)過程使用(yong)安裝在剛性拋(pao)光(guang)(guang)平盤上的柔性拋(pao)光(guang)(guang)墊,硅片被壓在拋(pao)光(guang)(guang)目(mu)前常用(yong)的拋(pao)光(guang)(guang)方法有以下幾種(zhong)氧化鋅材料的切割、研磨、拋(pao)光(guang)(guang)工藝(研磨膏(gao)。
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本發明公開了一種化(hua)學(xue)機械(xie)研(yan)磨工藝的(de)(de)優化(hua)方法,該(gai)方法包括:A、提供一實驗樣(yang)品,并按照當前的(de)(de)化(hua)學(xue)機械(xie)研(yan)磨CMP工藝參數對實驗樣(yang)品進行CMP工藝后(hou),采用等離子體(ti)增強化(hua)學(xue)氣相(xiang)。
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