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晶體硅(gui)生(sheng)產工藝(yi)流程(cheng)2012-11-2811:55:13硅(gui)材料是(shi)當前重(zhong)要的半導材料,目前、徑向電(dian)阻率均勻性得到改(gai)善,但(dan)需配置磁(ci)場設備并提供激磁(ci)電(dian)源,增加成(cheng)本和工藝(yi)難(nan)度。

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