
鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月(yue)23日-鎢電極(ji)研(yan)磨(mo)工藝(yi)機(ji)械化焊接電極(ji)頭表面粗糙(cao)度焊接工藝(yi)研(yan)磨(mo)機(ji)幾何形狀研(yan)磨(mo)砂輪焊縫質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一種減少(shao)鎢(wu)化學機械研磨微刮(gua)痕的工藝,提供一半(ban)導體基底(di),其制(zhi)作(zuo)鎢(wu)插(cha)塞的主要步驟(zou)有(you)光阻涂布、微影,蝕(shi)刻(ke)。
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2013年6月22日-鞏義市佛瑞機(ji)械廠(chang)是專(zhuan)業(ye)生產鎢礦(kuang)選礦(kuang)設備的(de)廠(chang)家(jia)[供]鎢礦(kuang)石(shi)的(de)浮選工(gong)藝流(liu)程,選鎢礦(kuang)設備價格,[供]專(zhuan)業(ye)生產螺(luo)旋(xuan)式振動研磨機(ji)10/14[供。
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黝圖1-6銅(tong)化學機械拋光(guang)(guang)工藝流(liu)程圖1-7雙(shuang)嵌入形成鎢(wu)插塞和局部(bu)互連(lian)1.3鎢(wu)鑲嵌圖3—2拋光(guang)(guang)速(su)率,均(jun)勻性(xing)和研磨臺轉速(su)的(de)依存性(xing)(32藝條件(jian)拋光(guang)(guang)頭壓力(li)-250hap;。
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且所(suo)述鎢栓接觸孔或通孔的近圓(yuan)度有一定提高,并增大了后續光(guang)刻工藝窗口,增大后續工藝的穩定度;所(suo)述改善鎢栓化學(xue)機械研(yan)磨表現的方法不(bu)僅(jin)提高金屬(shu)鎢沉積填充層(ceng)研(yan)磨的。
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一種改善(shan)接觸孔之鎢(wu)化學機械研磨后平坦性(xing)的方法,包(bao)括(kuo):步(bu)驟S1:在(zai)(zai)硅基襯底(di)上制備前道器件和絕緣介質層;步(bu)驟S2:在(zai)(zai)接觸絕緣介質層上淀積對鎢(wu)金屬具有高研磨選擇比的。
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公司(si)(si):東(dong)莞嶸峰(feng)機械設備有限公司(si)(si)發(fa)信(xin):點此發(fa)送姓(xing)名:蘭小(xiao)姐(女士)電話(hua):0769-產品名稱:鎢鋼刀研(yan)磨機(干濕(shi)兩(liang)用)1.避免因托(tuo)外加工(gong)造成之工(gong)期(qi)延誤及(ji)增加。
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