MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)方面,論文采用上述模(mo)型分析了(le)四分之一(yi)波長布拉格反射柵對(dui)其諧振(zhen)特性的(de)影響,得到(dao)了(le)SMR器(qi)件獲得理想性能所需(xu)的(de)少反射柵對(dui)數;另(ling)外,考慮(lv)到(dao)實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓(ya)電層的(de)典型厚度(du)在幾個微米或壓(ya)力場看起來與(單晶(jing)的(de))石(shi)英(ying)模(mo)式的(de)石(shi)英(ying)這(zhe)種類型的(de)BAW被稱為(wei)固態裝配諧振器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性(xing)而言,,則(ze)可減少諧振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝(zhuang)配型諧振器(SMR)的模擬分析湯亮郝震宏喬東海汪承灝摘要:正(zheng)1引言近(jin)年(nian)來,薄膜體(ti)聲波諧振器(FBAR)由于其較小的體(ti)積(ji)以及可與IC電路進行(xing)單(dan)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成(cheng)的諧振(zhen)器是(shi)固態裝配諧振(zhen)器(SMR)。在一(yi)個實施(shi)例中,襯底12由硅(Si)制成(cheng),PZ層18由氮化鋁(lv)(AlN)制成(cheng)。或者,也可(ke)以(yi)使用其他(ta)的壓電材(cai)料來(lai)制作PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的高性(xing)能射(she)頻(pin)濾波器:體聲波濾波器BAW第2頁(ye)/共6頁(ye)<上一頁(ye)下這種類型的BAW被(bei)稱為固態裝配諧振器(SMR)。魯(lu)棒(bang)性(xing)而言,SMR比膜結構的BAW要(yao)好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型(xing)的BAW被稱為固(gu)態裝配諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的BAW要好很多。在劃片和裝配所需的各種(zhong)標準工序中(zhong),沒(mei)有機械(xie)損壞的風險。壓電層(ceng)和電極層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜結(jie)構(gou)或一(yi)并沉(chen)積到一(yi)個薄的支撐膜上,形成空氣(qi)一(yi)固(gu)體交界面;還(huan)有一(yi)種(zhong)方式是采用“聲波鏡”形成反射面來實現,這種(zhong)結(jie)構(gou)被稱(cheng)為“固(gu)態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸(suan)鉛(qian)溶膠凝膠諧振器(qi)建(jian)立微型(xing)體聲(sheng)波諧振器(qi)機械結構的等效電路(lu)模型(xing),運用PSPICE軟件研究4湯(tang)亮;郝(hao)震宏;喬(qiao)東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型(xing)諧振器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)諧振器可以分類為FBAR(膜(mo)體聲諧振器)型和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧振器)型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲(sheng)波(bo)器件(jian)的示例為諸(zhu)如FBAR(膜體(ti)聲(sheng)波(bo)諧振(zhen)器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧振(zhen)器)的薄膜諧振(zhen)器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧(xie)振器(qi)(10;110;和(he)210)包(bao)括少部分(fen)地補償(chang)(chang)通過電極壓電疊層(ceng)(18)引入的溫度(du)感應(ying)效應(ying)的鐵磁補償(chang)(chang)器(qi)(20;120;和(he)220)。該補償(chang)(chang)器(qi)具(ju)有正(zheng)頻率溫度(du)系(xi)數(shu),而疊層(ceng)具(ju)有負。
BAW_百度文庫
包(bao)含(han)這些壓(ya)電薄(bo)(bo)膜諧振器的濾波器也受到(dao)關注(zhu)。[0003]壓(ya)電薄(bo)(bo)膜諧振器的例子包(bao)括FBAR(薄(bo)(bo)膜腔聲諧振器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧振器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)(shang)述壓(ya)電薄(bo)膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩(liang)種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜(mo)(mo)腔(qiang)聲(sheng)諧(xie)振(zhen)器(qi))和SMR(固(gu)態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包(bao)括層疊(die)在諸如硅或玻(bo)璃的基板上(shang)(shang)的上(shang)(shang)電極膜(mo)(mo)、壓(ya)電膜(mo)(mo)和下(xia)電極膜(mo)(mo)的層疊(die)結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含(han)這些壓電薄(bo)(bo)膜諧(xie)振器(qi)的濾波器(qi)也(ye)受到(dao)關注(zhu)。壓電薄(bo)(bo)膜諧(xie)振器(qi)的例子(zi)包括FBAR(薄(bo)(bo)膜腔聲諧(xie)振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的(de)(de)是,德國的(de)(de)Infneon公司(si)在2003年推(tui)出了具有布拉格反射層結構的(de)(de)固(gu)貼(tie)式(又(you)稱固(gu)態裝配型)薄膜體聲(sheng)波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我(wo)國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固(gu)態引(yin)信諧振器是電子(zi)安(an)全(quan)系統的(de)重要組成部分之一,它(ta)能在后(hou)坐加速(su)度和旋(xuan)轉離心力的(de)作用下向前運(yun)動,使(shi)限位(wei)保險處于鎖定(ding)狀態,從而(er)使(shi)引(yin)信處于待發狀態。但(dan)是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米波(bo)(bo)平(ping)面(mian)振(zhen)(zhen)蕩(dang)器(qi)(qi)基片集成(cheng)波(bo)(bo)導相位噪聲(sheng)雙(shuang)端口(kou)壓控振(zhen)(zhen)蕩(dang)器(qi)(qi)注入(ru)鎖(suo)定(ding)諧(xie)波(bo)(bo)振(zhen)(zhen)蕩(dang)器(qi)(qi)毫(hao)米波(bo)(bo)平(ping)面(mian)振(zhen)(zhen)蕩(dang)器(qi)(qi)是毫(hao)米波(bo)(bo)平(ping)面(mian)集成(cheng)系統ZnO固態(tai)裝配型諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的模擬分(fen)析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲(sheng)諧振器(10;110;和210)包括少部(bu)分地(di)補(bu)償通過電(dian)極壓電(dian)疊層(ceng)(18)引入的溫(wen)度感(gan)應(ying)效應(ying)的鐵磁補(bu)償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵(jian)詞:微波(bo)濾(lv)波(bo)器時域有限差分法(fa)階梯阻抗諧振(zhen)器橢圓函數(shu)濾(lv)波(bo)器多(duo)層6湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(SMR)的模擬(ni)分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)態微型諧振器的工作(zuo)頻率高、功率容量大、損耗低、體積(ji)小,是(shi)目前(qian)有望第三種(zhong)為本(ben)研究采用反射(she)層聲學(xue)隔離固(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一(yi)。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固(gu)態裝配型(xing)(xing)諧振器(SMR)方面,論文采用上述模型(xing)(xing)分析了四(si)分之一波(bo)長(chang)布拉格(ge)反(fan)射(she)(she)柵對其(qi)諧振特(te)性(xing)的影(ying)響,得到(dao)了SMR器件獲得理想性(xing)能所需的少反(fan)射(she)(she)柵對數(shu);另(ling)外,考慮到(dao)實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形(xing)成的諧振器是(shi)固態裝配諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個(ge)實(shi)施(shi)例中,襯底12由硅(Si)制(zhi)成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無線傳(chuan)感器(qi)(qi)網(wang)絡實現運動(dong)聲(sheng)源的定位與跟蹤錄取(qu),報告用相對運動(dong)幾何求解BOT問題(ti)ZnO固(gu)態裝配型諧(xie)振器(qi)(qi)(SMR)的模擬(ni)分析PGC解調光纖傳(chuan)聲(sheng)器(qi)(qi)技術的討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將(jiang)上(shang)述壓(ya)電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩(liang)種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜腔聲(sheng)諧(xie)振(zhen)器(qi))和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包括層(ceng)疊在(zai)諸如硅或玻(bo)璃(li)的(de)基板上(shang)的(de)上(shang)電(dian)極膜、壓(ya)電(dian)膜和下電(dian)極膜的(de)層(ceng)疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年(nian)10月31日(ri)-壓電薄膜諧振(zhen)器可分成(cheng)FBAR(薄膜塊體聲(sheng)波(bo)諧振(zhen)器)型(xing)和(he)SMR(固態裝配諧振(zhen)器,solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器(qi)是混合型(xing)諧(xie)(xie)振(zhen)無源諧(xie)(xie)振(zhen)結構(gou),其可以在制(zhi)造過程中被(bei)集成于(yu)車輛地(di)面連接裝置HBAR“高模薄膜體聲波諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)”),或者帶有布(bu)拉格反射鏡(jing)(SMR“固態(tai)裝配(pei)型(xing)諧(xie)(xie)振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是混合型(xing)諧(xie)振無源諧(xie)振結構,其(qi)可以在制造過程中被(bei)集成(cheng)于車輛地面連接裝(zhuang)置HBAR"高模(mo)薄膜體(ti)聲波諧(xie)振器"),或者帶有布拉格反(fan)射(she)鏡(SMR"固態裝(zhuang)配(pei)型(xing)諧(xie)振器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日(ri)-[0020]壓電(dian)薄膜(mo)諧(xie)(xie)振器(qi)包括FBAR型和(he)SMR型,其(qi)中FBAR是薄膜(mo)體聲波諧(xie)(xie)振器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以(yi)及SMR是固態安裝諧(xie)(xie)振器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將(jiang)上述(shu)壓電薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩種類(lei)型,FBAR(薄膜腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)薄膜諧振(zhen)(zhen)器(qi)可分成FBAR(薄膜塊體聲波(bo)諧振(zhen)(zhen)器(qi))型和(he)SMR(固態裝配諧振(zhen)(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上部電(dian)極、壓電(dian)膜和(he)下部電(dian)極構成的。