MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝(zhuang)配型諧振(zhen)器(SMR)方面(mian),論文采用上述(shu)模型分析了(le)四分之一(yi)波長布拉(la)格反射柵(zha)對其諧振(zhen)特(te)性的影響,得(de)到(dao)了(le)SMR器件獲得(de)理想性能(neng)所需(xu)的少反射柵(zha)對數;另外,考慮(lv)到(dao)實(shi)際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電(dian)層的(de)典型厚度在幾個微米或(huo)壓力場看起來與(單晶的(de))石英模式的(de)石英這種類型的(de)BAW被稱為固態裝配諧(xie)振器(SMR)。魯棒性而言,,則可減少諧(xie)振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝(zhuang)配型(xing)諧振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模擬分析湯亮郝(hao)震(zhen)宏(hong)喬東海汪承灝摘(zhai)要:正(zheng)1引(yin)言近年來,薄膜體聲波諧振(zhen)器(qi)(FBAR)由于(yu)其較(jiao)小的(de)體積以及可與(yu)IC電路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形(xing)成的(de)諧振(zhen)器是固態裝配諧振(zhen)器(SMR)。在一(yi)個實施例(li)中,襯(chen)底12由(you)硅(Si)制(zhi)成,PZ層(ceng)18由(you)氮化鋁(AlN)制(zhi)成。或者(zhe),也可以使用其他的(de)壓電材(cai)料來制(zhi)作PZ層(ceng)18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于(yu)CMOS工藝(yi)的高性(xing)能射(she)頻(pin)濾波(bo)器:體聲波(bo)濾波(bo)器BAW第2頁/共6頁<上一頁下這種(zhong)類型的BAW被(bei)稱為固態裝配諧振器(SMR)。魯棒性(xing)而言,SMR比(bi)膜(mo)結(jie)構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型(xing)的(de)BAW被稱為固(gu)態裝配諧振器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性(xing)而言,SMR比膜結(jie)構的(de)BAW要(yao)好很多。在(zai)劃片和裝配所需(xu)的(de)各種(zhong)標準(zhun)工序(xu)中,沒(mei)有機械(xie)損壞(huai)的(de)風險。壓電層和電極層上(shang)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電(dian)極做(zuo)成(cheng)膜結(jie)構(gou)或一并(bing)沉積到一個(ge)薄的(de)支撐膜上,形成(cheng)空氣(qi)一固體交界面;還有一種(zhong)方式是采用“聲波(bo)鏡”形成(cheng)反(fan)射(she)面來實現,這(zhe)種(zhong)結(jie)構(gou)被(bei)稱為“固態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸(suan)鉛溶膠(jiao)凝(ning)膠(jiao)諧振器(qi)建立微型體聲波諧振器(qi)機械結構的等效電路模(mo)型,運(yun)用PSPICE軟件(jian)研究4湯(tang)亮(liang);郝震宏;喬東海;汪承(cheng)灝(hao);;ZnO固態裝配(pei)型諧振器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)可以分類(lei)為FBAR(膜(mo)體聲諧(xie)振器(qi))型和SMR(固態裝配(pei)諧(xie)振器(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲(sheng)波(bo)(bo)器(qi)(qi)件的(de)示例為(wei)諸如FBAR(膜體聲(sheng)波(bo)(bo)諧(xie)(xie)振器(qi)(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧(xie)(xie)振器(qi)(qi))的(de)薄膜諧(xie)(xie)振器(qi)(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和(he)210)包括少部分(fen)地補(bu)償通過電極壓(ya)電疊層(ceng)(18)引入(ru)的溫度感應效應的鐵磁補(bu)償器(20;120;和(he)220)。該補(bu)償器具有正頻率溫度系數,而疊層(ceng)具有負。
BAW_百度文庫
包含這些(xie)壓電薄(bo)膜諧振(zhen)(zhen)器(qi)的(de)濾(lv)波(bo)器(qi)也受到關注。[0003]壓電薄(bo)膜諧振(zhen)(zhen)器(qi)的(de)例子包括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧振(zhen)(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配(pei)諧振(zhen)(zhen)器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓電薄膜(mo)(mo)諧振器分為(wei)兩種類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧振器)和(he)SMR(固態裝配(pei)諧振器)。FBAR包(bao)括層疊在諸(zhu)如硅或玻璃的基板(ban)上的上電極(ji)膜(mo)(mo)、壓電膜(mo)(mo)和(he)下電極(ji)膜(mo)(mo)的層疊結(jie)構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這些壓(ya)(ya)電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器的濾波器也受(shou)到關注。壓(ya)(ya)電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器的例子包括FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固(gu)態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器,SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另(ling)外(wai)值得一提的是,德國的Infneon公司在2003年推出了(le)具(ju)有布拉格反射層結構(gou)的固(gu)貼(tie)式(shi)(又(you)稱固(gu)態裝配型)薄膜體聲波諧振器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固態引(yin)信(xin)諧振器是電子(zi)安全系統(tong)的重要組(zu)成部(bu)分之一,它能在后坐加速度和旋(xuan)轉離心(xin)力(li)的作(zuo)用下向前運(yun)動,使限位保(bao)險處于鎖定狀(zhuang)態,從而(er)使引(yin)信(xin)處于待發狀(zhuang)態。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米波(bo)平面(mian)振蕩(dang)器(qi)(qi)(qi)基(ji)片集成(cheng)波(bo)導相位噪聲雙端口壓控振蕩(dang)器(qi)(qi)(qi)注入鎖定諧波(bo)振蕩(dang)器(qi)(qi)(qi)毫米波(bo)平面(mian)振蕩(dang)器(qi)(qi)(qi)是毫米波(bo)平面(mian)集成(cheng)系統(tong)ZnO固(gu)態裝配型諧振器(qi)(qi)(qi)(SMR)的(de)模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振(zhen)器(10;110;和210)包括(kuo)少(shao)部分地補償通過電極壓電疊層(18)引(yin)入的(de)溫度感應效應的(de)鐵磁(ci)補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波(bo)濾(lv)波(bo)器時域有限差分法階梯阻抗諧振器橢圓函數濾(lv)波(bo)器多層(ceng)6湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)態微型諧振(zhen)器的工作頻率高、功率容量大(da)、損耗(hao)低、體(ti)積(ji)小,是(shi)目前有望第(di)三種(zhong)為本研究采(cai)用反(fan)射層聲(sheng)學隔離(li)固(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖(tu)l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在(zai)固(gu)態裝配型(xing)諧(xie)振器(qi)(SMR)方面(mian),論文(wen)采用上述模型(xing)分(fen)析(xi)了四分(fen)之一波長布拉格反射(she)柵(zha)(zha)對其(qi)諧(xie)振特性的影響(xiang),得到(dao)了SMR器(qi)件獲得理(li)想(xiang)性能所需的少(shao)反射(she)柵(zha)(zha)對數;另外,考慮到(dao)實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣(yang)形成(cheng)的諧振器是固(gu)態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一(yi)個實(shi)施例中,襯底12由硅(gui)(Si)制成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字(zi)報(bao)利用(yong)無(wu)線傳感器(qi)(qi)網絡實(shi)現運動聲源(yuan)的定(ding)位(wei)與跟(gen)蹤錄取,報(bao)告用(yong)相(xiang)對運動幾何(he)求解BOT問題ZnO固態裝(zhuang)配型(xing)諧振器(qi)(qi)(SMR)的模擬分析PGC解調光纖(xian)傳聲器(qi)(qi)技術的討論一種(zhong)單(dan)。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)述壓(ya)電(dian)(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)(xie)振器(qi)(qi)分(fen)為(wei)兩種類型(xing),FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)(xie)振器(qi)(qi))和(he)SMR(固(gu)態裝配諧(xie)(xie)振器(qi)(qi))。FBAR包括(kuo)層疊在諸如硅(gui)或(huo)玻璃(li)的(de)基板上(shang)的(de)上(shang)電(dian)(dian)極膜(mo)(mo)、壓(ya)電(dian)(dian)膜(mo)(mo)和(he)下電(dian)(dian)極膜(mo)(mo)的(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄(bo)膜諧(xie)振器可分成FBAR(薄(bo)膜塊體聲波諧(xie)振器)型(xing)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振器,solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混(hun)合型諧振(zhen)無(wu)源諧振(zhen)結構(gou),其可以在制造過程中被集成于車(che)輛地(di)面連接(jie)裝(zhuang)置HBAR“高(gao)模(mo)薄(bo)膜(mo)體(ti)聲波(bo)諧振(zhen)器”),或者帶有布拉(la)格反射鏡(jing)(SMR“固(gu)態(tai)裝(zhuang)配(pei)型諧振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳(chuan)感器(qi)是混合(he)型諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)無源(yuan)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)結構,其(qi)可(ke)以在制造過(guo)程中被集成于(yu)車(che)輛(liang)地面連(lian)接裝置HBAR"高模(mo)薄膜(mo)體聲波諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)"),或者帶有布拉格反射鏡(jing)(SMR"固態裝配型諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電(dian)薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)包括FBAR型(xing)和SMR型(xing),其中FBAR是薄膜體(ti)聲波諧(xie)振(zhen)器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以(yi)及SMR是固態安裝諧(xie)振(zhen)器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年(nian)10月(yue)5日-將上述壓電(dian)薄膜諧振器(qi)分為兩(liang)種(zhong)類型,FBAR(薄膜腔聲諧振器(qi))和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧振器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電薄膜(mo)諧振器可(ke)分(fen)成(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊體聲波諧振器)型(xing)(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧振器,solidlymountedresonator)型(xing)(xing)。FBAR具有由上部電極、壓(ya)電膜(mo)和下(xia)部電極構成(cheng)的。