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1.一種表面精加(jia)工等(deng)離子體加(jia)工設備部件的(de)(de)(de)方(fang)(fang)法,所述的(de)(de)(de)方(fang)(fang)法包括:機(ji)械拋光等(deng)離子體加(jia)工設備部件的(de)(de)(de)少一個石英玻璃表面;用含(han)氟(fu)的(de)(de)(de)刻蝕(shi)液化學(xue)刻蝕(shi)經機(ji)械拋光的(de)(de)(de)石英玻璃。
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第1頁共(gong)9頁《石英(ying)玻璃(li)(li)加(jia)工》講課(ke)提綱一、石英(ying)玻璃(li)(li)的基本特性1.精磨磨料為(wei)20120～14m。應盡量避免擦(ca)傷。④拋光Hcp<λ;即<0.5m。
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精加(jia)工石英玻(bo)璃表面的方(fang)(fang)法和所述方(fang)(fang)法生產的部件(jian)CN1809513ACN101958225B2009年7月(yue)14日(ri)(ri)2012年7月(yue)25日(ri)(ri)中芯國際集成電路制造(zao)(上(shang)海)有限公司石英改(gai)板清洗方(fang)(fang)法。
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石英(ying)玻璃是(shi)用二氧化(hua)硅制造的(de)特種(zhong)工業技(ji)術玻璃,是(shi)一種(zhong)非常優(you)良的(de)基礎材料。石英(ying)玻璃具有一系(xi)列優(you)良的(de)物理化(hua)學性能。如:1、耐(nai)高溫。石英(ying)玻璃的(de)軟化(hua)點溫度(du)約(yue)為(wei)1730℃,。
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透明石(shi)英(ying)玻璃(li)原(yuan)(yuan)料(liao)及(ji)其加工(gong)周(zhou)永恒摘要:論述(shu)了石(shi)英(ying)玻璃(li)原(yuan)(yuan)料(liao)礦物的特征(zheng)及(ji)其加工(gong)技術,指出(chu)了我(wo)國石(shi)英(ying)玻璃(li)原(yuan)(yuan)料(liao)資源的現狀、存在的問題及(ji)發展方向。
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